原裝SUNX晶圓校準傳感器,神視光電傳感器
20MΩ以上，基于DC250V的*阻表
耐振動 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G)　X,Y和Z方向各3次
投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)
受光元件 光電二極管
材質(zhì) 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁
電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器
無**的測量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。

原裝SUNX晶圓校準傳感器,神視光電傳感器

檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)
使用環(huán)境溫度 0～+40℃(注意不可結(jié)露)，存儲時：-20～+55℃
使用環(huán)境濕度 35～85%RH、存儲時：35～85%RH
反應(yīng)時間 0.5ms以下(8V/ms以上)
直線性 ±1.0%F.S.(檢測位置中心的檢測寬度28mm)(注3)
溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)
量程調(diào)整功能 裝備15圈無限制調(diào)節(jié)器，可調(diào)整模擬輸出電壓的量程
原裝SUNX晶圓校準傳感器,神視光電傳感器