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派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制,提*了MFC(質(zhì)量流星控制器)的**,這對半導(dǎo)體**的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成,以減少對半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部(閥座)密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超*純應(yīng)用中的**和穩(wěn)定性.
美國Parker調(diào)壓閥,派克應(yīng)用參數(shù)
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